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Keysight B1500A 半导体器件参数分析仪

是德科技 Keysight B1500A 半导体器件参数分析仪,则是一体化器件表征领域的另一座高峰。这款多功能分析仪支持 IV、CV、脉冲 / 动态 IV 等全维度测量技术,主机可灵活搭配大功率源表、高分辨率源表、多频率电容测量单元、超快脉冲测量单元等十余种插件模块,最小测量分辨率可达 0.1fA,最小选通脉宽低至 10ns,能够覆盖从成熟制程到优良工艺、从分立器件到大规模集成电路的全品类表征需求

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  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2026-03-27
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产品详情

 Keysight B1500A 半导体器件参数分析仪介绍:

是德科技 Keysight B1500A 半导体器件参数分析仪,则是一体化器件表征领域的另一座高峰。这款多功能分析仪支持 IV、CV、脉冲 / 动态 IV 等全维度测量技术,主机可灵活搭配大功率源表、高分辨率源表、多频率电容测量单元、超快脉冲测量单元等十余种插件模块,最小测量分辨率可达 0.1fA,最小选通脉宽低至 10ns,能够覆盖从成熟制程到工艺、从分立器件到大规模集成电路的全品类表征需求

直流和脉冲 IV 测量

支持的模块及对应主要技术指标:

  • B1510A 大功率源表模块(HPSMU):高达 200V/1A,最小分辨率 10fA/2μV;
  • B1511B 中等功率源表模块(MPSMU):高达 100V/0.1A,最小分辨率 10fA/0.5μV,ASU 选件用于 0.1fA 和 IV/CV 切换;
  • B1517A 高分辨率源表模块(HRSMU):高达 100V/0.1A,最小分辨率 1fA/0.5μV,ASU 选件用于 0.1fA 和 IV/CV 切换;
  • B1514A 50μs 脉冲中等电流源表模块(MCSMU):高达 30V/1A(0.1A 直流);

主要特性

  • 最小 100μs 采样(时域)测量
  • 最小脉宽 500μs、100μs 分辨率
  • 准静态电容电压(QSCSV)测量且具有泄漏电流补偿;
  • B1514A:最小脉宽 50μs、2μs 分辨率,示波器视图支持精确的脉冲测量;
  • 4 象限工作
  • Kelvin(4 线)连接
  • 点测量、扫描测量和其他功能。

电容测量

支持的模块:B1520A 多频率电容测量单元(MFCMU)

主要技术指标:频率范围为 1kHz 至 5MHz,SMU 和 SCUU 提供 25V 内置直流偏置和 100V 直流偏置

主要特性:交流阻抗测量(C-V、C-f、C-t),使用自动切换通过 SCUU 轻松、快速、精确地进行 IV 和 CV 测量

超快速脉冲和瞬态 IV 测量

支持的模块:B1530A 波形发生器 / 快速测量单元(WGFMU)

主要技术指标:用于波形生成的 10ns 可编程分辨率,200MSa/s 同时高速测量,10V 峰峰值输出

主要特性:无负载线效应;使用 SMU 技术进行精确的脉冲 IV 测量,支持 NBTI/PBTI、RTN 等优良应用

脉冲生成

支持的模块:B1525A 高电压半导体脉冲发生器单元(HV-SPGU)

主要技术指标:高达 ±40V 高电压输出

主要特性:能够在每个通道上生成二电平和三电平脉冲和任意波形,适用于非易失性存储器测试

超快速脉冲高 k/SOI 测试

支持的模块:B1542A 10ns 脉冲 IV 参数测试解决方案

主要技术指标:最小选通脉宽 10ns,上升和下降时间为 2ns,1μs 电流测量分辨率

主要特性:精确的 Id-Vd 和 Id-Vg 测量,在直流测量和脉冲测量之间轻松切换



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