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P产品分类RODUCT CATEGORY
是德科技 Keysight B1500A 半导体器件参数分析仪，则是一体化器件表征领域的另一座高峰。这款多功能分析仪支持 IV、CV、脉冲 / 动态 IV 等全维度测量技术，主机可灵活搭配大功率源表、高分辨率源表、多频率电容测量单元、超快脉冲测量单元等十余种插件模块，最小测量分辨率可达 0.1fA，最小选通脉宽低至 10ns，能够覆盖从成熟制程到优良工艺、从分立器件到大规模集成电路的全品类表征需求
产品型号：厂商性质：代理商更新时间：2026-04-07访 问 量：80
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支持的模块及对应主要技术指标：
主要特性
支持的模块：B1520A 多频率电容测量单元（MFCMU）
主要技术指标：频率范围为 1kHz 至 5MHz，SMU 和 SCUU 提供 25V 内置直流偏置和 100V 直流偏置
主要特性：交流阻抗测量（C-V、C-f、C-t），使用自动切换通过 SCUU 轻松、快速、精确地进行 IV 和 CV 测量
支持的模块：B1530A 波形发生器 / 快速测量单元（WGFMU）
主要技术指标：用于波形生成的 10ns 可编程分辨率，200MSa/s 同时高速测量，10V 峰峰值输出
主要特性：无负载线效应；使用 SMU 技术进行精确的脉冲 IV 测量，支持 NBTI/PBTI、RTN 等优良应用
支持的模块：B1525A 高电压半导体脉冲发生器单元（HV-SPGU）
主要技术指标：高达 ±40V 高电压输出
主要特性：能够在每个通道上生成二电平和三电平脉冲和任意波形，适用于非易失性存储器测试
支持的模块：B1542A 10ns 脉冲 IV 参数测试解决方案
主要技术指标：最小选通脉宽 10ns，上升和下降时间为 2ns，1μs 电流测量分辨率
主要特性：精确的 Id-Vd 和 Id-Vg 测量，在直流测量和脉冲测量之间轻松切换
模块选型指南
测量资源 | 所需模块/扩展器 | 所需插槽 | 最高配置 | 主要技术指标 |
大功率源（HPSMU） | B1510A 高压开关柜 | 2 | 4 | 高达 200 V，1 A 电力10 fA 电流测量分辨率 |
中功率 SMU（MPSMU） | B1511B 多功能服务模块 | 1 | 10 | 高达 100 V，100 mA 电力，10 fA 电流测量分辨率 |
大电流源（HCSMU） | B1512A 高容量微型单元 | 2 | 2 | 20 A/20 V（脉冲）；1 A/40 V（直流）*1 |
高压源测量单元（HVSMU） | B1513C 高压开关模块 | 2 | 5 | 1500 V/8 mA；3000 V/4 mA；（脉冲和直流） |
中电流源（MCSMU） | B1514A 多功能控制系统模块 | 1 | 6 | 1 A/30 V（脉冲）；100 mA/30 V（直流） |
多频电容测量单元（MFCMU） | B1520A 多功能控制模块 | 1 | 1 | 1 kHz 至 5 MHz。0 至 ±25 V，使用 MFCMU 内部直流偏置 |
高压中电流单元（HVMCU） | N1266A HVSMU 电流扩展器， | 4 - 6 | 1 | ±1500 V/2.5 A（脉冲），±2200 V/1.1 A（脉冲） |
超大电流单元（UHCU） | N1265A 超大电流扩展器/夹具 | 2 - 4 | 1 | 1500 A/60 V（脉冲），22.5 kW 峰值功率， |
超高电压单元（UHVU） | N1268A 超高压扩展器 | 2 - 3 | 1 | 10千伏/10毫安（直流），10千伏/20毫安（脉冲） |
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