吉时利 4200A-SCS 半导体参数分析仪作为集成式半导体特性分析系统，它可同步实现直流 I-V、C-V、超快脉冲 I-V 的高精度测量，配备的 Clarius 软件内置数百种应用测试模板，支持模块化定制升级，可扩展SMU、CVU、PMU等全品类模块，适配从 MOSFET、非易失性存储器到纳米器件、光伏器件的全场景测试需求。

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更新时间：2026-03-27
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吉时利 4200A-SCS 半导体参数分析仪介绍

泰克旗下 Keithley 吉时利 4200A-SCS 参数分析仪，作为集成式半导体特性分析系统，它可同步实现直流 I-V、C-V、超快脉冲 I-V 的高精度测量，配备的 Clarius 软件内置数百种应用测试模板，支持模块化定制升级，可扩展SMU、CVU、PMU等全品类模块，适配从 MOSFET、非易失性存储器到纳米器件、光伏器件的全场景测试需求。其核心 SMU 模块可实现 100fA 的基础测量分辨率，选配前端放大器后更可达到 10aA 的灵敏度，长期以来是国内高校实验室、头部晶圆厂研发线的 “标配" 设备。

I-V 源测量单元(SMU)
± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块
100 fA测量分辨率
选配前端放大器提供了 10 aA测量分辨率
10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量
100 μF负载电容
四象限操作
2 线或 4 线连接
C-V 多频率电容单元(CVU)
AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)
1 kHz - 10 MHz 频率范围
± 30 V (60 V差分)内置DC偏置源，可以扩展到± 210 V(420 V 差分)
选配 CVIV 多通道开关，在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换脉冲式I-V 超快速脉冲测量单元(PMU)
两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道
200 MSa/s，5 ns 采样率
±40 V (80 V p-p)，±800 mA
瞬态波形捕获模式
任意波形发生器 Segment ARB® 模式，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率
高压脉冲发生器单元(PGU)
两个高速脉冲电压源通道
±40 V (80 V p-p)，± 800 mA
任意波形发生器 Segment ARB®模式，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV)
在 I-V测量和 C-V 测量之间简便切换，无需重新布线或抬起探针
把 C-V测量移动到任意端子，无需重新布线或抬起探针远程前端放大器/ 开关模块(RPM)
在 I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动切换
把 4225-PMU的电流灵敏度扩展到数十皮安
降低电缆电容效应

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