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概伦电子 FS800 半导体参数分析仪是新一代半导体器件电学特性分析设备,具有功能全面配置灵活等特点,在一台设备中实现了电流电压(IV)测试、电容电压(CV)测试、快速波形发生与测试、低频噪声测试以及高速时域信号采集,可广泛应用于新材料和新器件研究、电性参数测试、器件模型数据测试、可靠性测试等领域。
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厂商性质:代理商
更新时间:2026-04-07
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概伦电子 FS800 半导体参数分析仪介绍:
FS800 器件参数分析仪是概伦电子的新一代半导体器件电学特性分析设备,具有功能全面配置灵活等特点,在一台设备中实现了电流电压(IV)测试、电容电压(CV)测试、快速波形发生与测试、低频噪声测试以及高速时域信号采集,可广泛应用于新材料和新器件研究、电性参数测试、器件模型数据测试、可靠性测试等领域。
该设备拥有直观的 18.5 英寸触摸屏界面,采用自主研发的测试硬件架构和数据总线,高效可扩展的半导体表征系统主机可配备高达 24 个自研高精度 SMU、或 132 通道的低漏电矩阵开关。同时可基于需要选配快速波形发生与测试套件和高精度 LCR 模块,通过单台设备提供各类晶圆级电性参数自动化测试解决方案。仪器内置的 LabExpress 测试软件配备丰富的内置测试算法库,可高效协同控制概伦测试设备、第三方仪表、半自动和全自动探针台等设备。
FS800 全面而灵活的测试分析能力可极大地加速半导体器件与工艺的研发评估进程,满足各类半导体实验室和产线测试需要。
应用领域:
• CMOS 参数测试
- MOSFET 与 BJT 晶体管参数测试
- 二极管与 PN 结参数测试
- MEMS 与传感器参数测试
• 新材料新器件参数测试
- 薄膜晶体管、显示器件参数测试
- 二维材料、光电探测器参数测试
- 非易失性存储器与材料参数测试
- 神经形态器件、忆阻器等参数测试
- 柔性电子器件、可穿戴电子器件参数测试
• 半导体器件特性分析
• 半导体器件建模
• 半导体器件可靠性测试
• 产线测试
• 高效率可扩展的硬件平台
- 自主研发的测试硬件架构和数据总线
- 可支持高达 24 个 SMU,或 132 通道的矩阵开关
- 可同时支持 SMU 和矩阵开关模块,在单台台式设备内实现晶圆
级电性参数的自动化测试
- 支持多通道并行测试和多点位并行测试
- 可扩展 GPIB 接口
- 可扩展 PXI 机箱
• FS810 高精度 SMU
- 0.1fA 高分辨率
- 最高电流测试精度可达 15fA
- 最大电压 200V,最大电流 1A,最大直流功率 20W
- 1.5MS/s 采样率的时域信号采集
• FS821 低漏电矩阵开关输出模块
- 12 个三同轴输出接口
- 200V 负载电压,1A 负载电流
- 100fA 偏移电流
- 30MHz 带宽
• FK401B 快速波形发生与测试套件
- 2 个快速 IV 通道,最大电压 10V,最大电流 10mA
- 100MS/s 采样率的高速时域信号采集
- 快速脉冲 IV 测试,最小脉冲宽度 130ns
- 支持 SMU 直通
- 可扩充至最多 5 个模块(10 通道)
• FS338/FS339 高精度 LCR 模块
- 40V 直流偏压范围
- FS338 带宽:20Hz~2MHz
- FS339 带宽:20Hz~10MHz

